使用干冰洗衣机所面临的问题--1-行业动态
* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020/05/28 0:28:51 * 浏览: 48
对于任何干冰洗衣机清洁过程，成功的干冰清洁都需要注意与经济性，湿气凝结，二氧化碳纯度，静电荷等相关的几个参数。通过在测试过程中解决这些问题，扩展台式清洁变得相对简单。 -经济-二氧化碳的成本取决于三个选择，喷嘴设计（孔口尺寸或扁平喷嘴），液体或气体进料以及二氧化碳纯度。关于喷嘴的设计和选择，一个典型的可以清洁1/4英寸点的圆形喷嘴每分钟消耗1/2至2立方英尺的CO2，而一个1英寸扁平喷嘴每分钟消耗约1立方英尺的CO2。关于液态或气态二氧化碳进料的选择，对于焊接等级为“ SFC”（超临界液相色谱）等级的钢瓶，现有的60磅二氧化碳成本在50美元至250美元之间。回顾一下选择之间的差异一个气体或液体进料缸，气体进料缸有60磅（525立方英尺）的可用产品，而液体进料缸有40磅（350立方英尺）的可用产品。使用每分钟1立方英尺的二氧化碳消耗率，液体进料气瓶的成本范围为每立方英尺每分钟0.17美元至0.71美元，而气体进料气瓶的成本范围为每立方英尺0.11美元至0.48美元每分钟。 。因此，如果零件需要一分钟的清洁时间并假设为每分钟1立方英尺，则与二氧化碳相关的成本范围为$ 0.11至$ 0.71。在大多数情况下，每个零件的清洁时间为5秒，每分钟可清洁12个零件，每个零件的成本为0.01美元至0.06美元。对于大批量操作，可以以大大降低的成本获得大量的二氧化碳。例如，考虑使用205毫米扁平喷嘴清洁200毫米晶圆，每分钟消耗8立方英尺。使用高纯度气体进料，每分钟的操作成本为每分钟3.84美元（如果液体进料为5.68美元）。使用估计的5秒清洁时间，每分钟的操作将清洁总共12个晶片，每片晶片的成本为0.32美元。再举一个例子，考虑使用2英寸的扁平喷嘴和液体进料进行非关键性的2英寸方板清洗。二氧化碳消耗量为每分钟2立方英尺，清洁时间为2秒，每个组件的清洁成本不到0.01美元。对于不同的应用，可以产生相似的数量和成本，并且通过使用大量购买的CO2可以显着降低成本。-设备成本-清洁设备的成本，从价格低于1500.00美元的基本套件到图24所示的自动化单元，大约为50,000美元。假设以上述晶片为例，设备的操作时间为200天。每天8个小时的设备成本低于每片晶圆0.05美元。该数字代表与自动化系统的连续运行相关的成本。对于不完整的自动化系统，只要利用率足够高，成本就会降低，并且任何清洁操作的成本仍然非常低。最初用于实验室测试和开发的试剂盒通常以非资本性物品的形式标价。-污染问题-气体纯度。在执行任何过程之前，必须调查清洁过程中再次污染的风险。该方法首先分析清洗后的硅片的表面化学性质（Control-CTL），然后用二氧化碳雪清洗该区域，然后分析清洗后的表面化学性质。 SFC-2除外除带有薄自然氧化物的硅片和带有较厚热氧化物的SFC-2样品外的所有样品。至少进行了7次运行，表面化学结果（通过XPS测量）列于表8和9。除表中列出的“液体”钢瓶外，所有钢瓶均为气体进料。二氧化碳源与“气体”进料焊接气瓶相同-该气瓶位于侧面。三种SFC等级的表面化学变化表明表面碳浓度降低，而其他二氧化碳等级的碳浓度增加。这些结果意味着SFC等级可用于清洗“干净”的样品，而其他等级可能不适合清洗“干净”的样品。但是，这导致表面碳氢化合物浓度的增加。四个等级的碳氢化合物仍将去除表面上可见的碳污染和颗粒。应该是n此外，显微照片11、12和14中显示的样品已用焊接气体清洁。请注意，这些“劣质”二氧化碳等级仍然很严重，可以消除严重的污染，并且样品在放大至1000倍的情况下仍显得干净。通过定义初始碳浓度与清洗后碳浓度的比率，可以进一步比较数据。小于1的比率表示碳氢化合物的去除，大于1的比率表示污染的清洁表面。我们看到，SFC等级的比率，清洁效果值小于1，并且大于其他等级。因此，对于关键的清洁应用，建议使用SFC级。液体进料焊接源导致气体进料焊接的污染更大。这表明，与供气气缸相比，用供液气缸清洁可导致表面再污染更大。由于液态CO2是一种极好的溶剂，因此预计气缸中的碳氢化合物污染物会在液态中浓缩。这样，给定数量的液体中的污染量将大于相同数量的气体中的污染量。因此，以相似的清洁速率，液体进料清洁流将包含更多的污染，并可能沉积大量的碳氢化合物污染物。 -过滤-对于关键的清洁应用，必须过滤二氧化碳。气瓶，软管和所有设备都有颗粒，流动的气体或液体将这些颗粒从喷嘴传输到样品。通常，这些颗粒在清洁过程中会被清除，但是仍然存在一些风险。另外，这些通过的颗粒可能是磨料。当选择用于关键清洁应用的二氧化碳时，必须在适当的位置安装在线过滤器。半导体行业中通过方法确定的选择是使用点过滤。这意味着将过滤器放在喷嘴前面。这样，将消除所有引入的微粒污染。与使用液体源相比，过滤气态CO2源要容易得多，因为比液体更容易过滤气体。因此，对于关键的清洁应用，建议过滤气态二氧化碳源。并非所有供应商都将过滤器放置在其系统上，也未将过滤器安装到位。对于许多清洁应用而言，这不是问题，但是在许多情况下，错误的过滤器选择可能会对清洁过程产生负面影响。正确放置过滤器意味着必须将过滤器放置在喷嘴的前面，以清除所有可能从气缸，软管，开关阀或喷枪进入的颗粒。
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